利用臭氧发生器产生臭氧，以臭氧的强氧化性杀灭细菌来达到消毒的目的，是一种新型的环保清洁方式，日益为人们所认识。
相对比化学试剂消毒，臭氧消毒花费是相对少的，并且效果更加强。
1、 臭氧消毒代替化学试剂薰蒸灭菌，实现了洁净室空调系统节能。
GMP实施指南要求洁净度100级，10000级区域的空调宜连续进行，非连续运行的洁净室，可根据工艺生产要求，在非生产班次时，空调系统宜作值班运行，使室内保持正压。为保证洁净度，一般空调是连续运转的，只有这才能避免洁净室受到悬浮粒子和微生物的污染，用臭氧对洁净室进行消毒灭菌，就可以在无菌室不作业时，将空调机组进行全部停止运行，上班前2小时左右，开风机消毒灭菌换空气即可，实现了洁净室的节能。
如工厂空调系统送风量为100000m3/h，风机总功率按100kw，产品生产按12小时设计，采用臭氧消毒，每天至少减少风机运行时间10小时，以每月生产27天，这样每年生产11个月计可节电：100×10×27×11＝297000kw如电价为0.6元/kw，全年节约电费：297000×0.6＝178200元。
2、 节约消毒剂减轻劳动强度，同时解决了消毒剂易燃易爆问题。
3、 由于采用臭氧消毒，可以避免化学药剂薰蒸产生的二次污染问题，而且对空气过滤器有疏导作用，这样就会延长过滤器尤其是高效过滤器的使用寿命，从而节约维护费用。
4、 取消每月二次的大消毒，可延长生产周期，提高产量。
臭氧消毒用于洁净室消毒，不但能满足生产要求，保持良好的工作环境，而且会产生可观的经济效益。
